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  • 2020-06-12 10:27
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博生牌2X系列真空泵为双级结构,它的工作性能由高压级与低压级二部分组成,它的吸口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸与排出。当设备获得真空时,高压级排气阀片将封闭,高压级的气体将转送到第二级,并经第二级吸与排出,这样真空设备可获得一定的真空。该泵的技术参数6×10-2pa。根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能使你的设备获得更高的真空。

旋片真空泵真空度本来就很高,一般的工艺需求是完全可以满足的,但如果针对半导体行业的话,它的真空度要求特别高,配真空机组才可以达到,旋片真空泵一般用作反应系统的前级泵,它与罗茨真空泵共同组成罗茨旋片真空机组,60~100℃范围内把各种不同的混合气体压缩到大气压并排放到排气管中。如果泵内危害性产物的压力、浓度、温度都比较高,些物质在泵及泵的附件内积存起来;这些物质在排汽管道内同周围空气相接触等等,都会构成潜在的危险。半导体制造使用或产生的有害气体,必须采取合适的测量方法,以防止着火和,保证设备的正常运行,人员及服务人员发生急性或慢性中毒。为了安全起见,应配备抽力足够大的合适真空泵和附件,由于旋片真空泵在半导体制造设备中的重要作用。所以我们从旋片泵正常工作的几个条件入手,阐述一些安全工作的要素。具体事项都会在以下的几篇文章中说明,请大家耐心等待!

装上前端板,再装定位销钉,均匀拧紧螺钉,装配后应保证转动灵活轻松,均匀一致。然后再装低真空转子及后端盖,低转片的槽应向后端板一边。再装排气门,排气阀片应贴紧阀板坐,再装其它零件。装配时应注意,凡转动部位应先打上真空油,注意清洁,严禁铁屑泥砂尘埃等落入泵内,定位销钉要接触良好,装好的旋片式真空泵应转动轻松,无转重不均,并没有阻滞现象。总装完后,分别从进气嘴及加油孔加油,旋片式真空泵装油在视镜横线处为止,再试车。性能参数:2X真空泵由泵体、高转子、低转子、前端板、后端板、高转片、低转片、排气阀、排气罩、视镜等零部件组成。2X真空泵设计有偏心装置,转子带动旋片旋转时,旋片紧粘腔壁把进排气口分割开来。并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气,排气腔容积则周期性缩小气体,推开排气,从而获得真空。2X真空泵同国内同类产品相比,耗电少,真空度高,噪音低,外观美观,重量轻等优点。

假如停泵后返油,油会进入气镇阀,不关气镇阀可能会漏油,橡胶垫时,一定要用耐油橡胶,要依照原设计外形,密封面太大时压不紧会漏油。6.4漏水能够发作在水管接头,水套闷盖平面,孔螺塞,阀等处,水套钻穿,铸件缺陷,冻裂,也可能招致漏水。6.5大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发作咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等惹起,会使电机损坏。应尽量防止在大功率左近长期连续运转。假如外表有堆积物,要定期拆开肃清。可由外漏、内漏、油孔梗塞、泵油质量不良或污染蜕变、有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等惹起。外漏较多时,排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡。

应用前,应首先认真阅读产品阐明书,开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件,撤除排气口防护件。按请求装置,接线,试转向。水冷泵接水。为避免因返油与反转而喷油,应先开启泵口,按规则转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位,应在油标中心以上,但不要满油标,多了要放出。判别转向的辅助办法。把护套倒放在泵口上,如开泵后被吸住,是正向,被吹落,是反向。声音正常是正向,声音异常响是反向。如在泵口配装带充气电磁阀,普通应横装,并与泵同时动作。相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时,应运用气镇阀。按阐明书引荐选用真空泵油。留意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用,必需严厉清洗后才干换入酯类真空泵油。

泵轴轴承位磨损:真空泵传动部位磨损是常见问题,包含轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位磨损。修理保养技巧:今世西方国家多选用高分子复合资料修,运用较多的是美国美嘉华技能体系,具有粘着力强、抗压强度大等功能。此办法修正可免拆开,免机加工。既无补焊热应力影响,修正厚度也不受约束,一起产品所具有的让步性,,可吸收设备的冲击轰动,防止再次磨损,并大大延伸设备部件运用寿命,为企业节约很多停机时刻,发明巨大的经济价值。腐蚀:真空泵腐蚀形状可分为全面腐蚀和部分腐蚀两大类,前者较均匀的发生在真空泵悉数外表,后者仅仅发生在部分,如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。修理保养技巧:选用高分子复合资料对真空泵施行外表有机涂层防腐。

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